電漿處理裝置用上腔室

【物品用途】;本設計的物品是電漿處理裝置用上腔室，為一種在製造半導體時所使用的電漿處理裝置中，在進行半導體晶圓等之表面處理時用來構成真空空間的上腔室。;【設計說明】;呈現在立體圖中但未呈現在其他六面圖中的細線，係用來表現立體表面之形狀的線條。呈現在右側視圖之下方中央的圓形部，係為貫通的孔。