MAINFRAME OF SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM

【物品用途】;本設計請求具有視覺效果之基板處理系統的主要框架。;【設計說明】;圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分。

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MOREY, TRAVIS, WYATT, ADAM J, AMIR, OFER, RICE, MICHAEL R, KUCHAR, MICHAEL C
Format:	Patent
Sprache:	chi ; eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:	【物品用途】;本設計請求具有視覺效果之基板處理系統的主要框架。;【設計說明】;圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分。