COVER RING FOR USE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING CHAMBER

【物品用途】;本設計所請求係用於半導體處理腔室中的蓋環。;【設計說明】;無。

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	BHASKAR RAO, NATARAJ, SATHYANARAYANA, HARISHA, CHOWDHURY, ABHISHEK, LU, SIQING, SUAREZ, EDWIN C
Format:	Patent
Sprache:	chi ; eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:	【物品用途】;本設計所請求係用於半導體處理腔室中的蓋環。;【設計說明】;無。