基板保持環

【物品用途】;本設計的物品是基板保持環,例如:如「使用狀態參考圖」所示,應用於半導體等製程的基板研磨工序中,將晶圓等基板保持在環內,來研磨基板的其中一面。;【設計說明】;後視圖、左側視圖及右側視圖與前視圖相同,皆省略之。...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: NABEYA, OSAMU, AKAZAWA, KENICHI
Format: Patent
Sprache:chi
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Beschreibung
Zusammenfassung:【物品用途】;本設計的物品是基板保持環,例如:如「使用狀態參考圖」所示,應用於半導體等製程的基板研磨工序中,將晶圓等基板保持在環內,來研磨基板的其中一面。;【設計說明】;後視圖、左側視圖及右側視圖與前視圖相同,皆省略之。