PROCESS SHIELD FOR A SUBSTRATE PROCESSING CHAMBER

【物品用途】;本設計所請求之用於基材處理室的處理遮罩件係用於在基材處理室中作為遮罩件。;【設計說明】;圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分。

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Ｖ SANSONI, STEVEN V, KAMATH, ARAVIND, OR, DAVID, Ｈ VENKATASWAMAPPA, MANJUNATH H, Ｐ KOPPA, MANJUNATHA P, TSAI, CHENG-HSIUNG MATT
Format:	Patent
Sprache:	chi ; eng
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	【物品用途】;本設計所請求之用於基材處理室的處理遮罩件係用於在基材處理室中作為遮罩件。;【設計說明】;圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分。