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【物品用途】;本設計物品是一種通氣基座，用於在半導體沈積工具內將半導體晶圓保持在其上。;【設計說明】;圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分。

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	BIAN, DAKAI, ROKKAM, UDAY KIRAN, KIM, SAM, RATHI, SAKET
Format:	Patent
Sprache:	chi ; eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:	【物品用途】;本設計物品是一種通氣基座，用於在半導體沈積工具內將半導體晶圓保持在其上。;【設計說明】;圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分。