基板搬運用保持墊之部分

【物品用途】;本設計的物品是在半導體製造裝置中，配置在搬運半導體晶圓之類的基板用的搬運支臂上來使用的保持墊。本物品，係如「使用狀態之參考圖」所示，為配置在搬運支臂的基板保持部，抵接於所搬運的基板之邊緣部而予以吸附保持，當搬運支臂動作時，可防止基板從保持位置偏移或脫落。本物品，係由橡膠之類的柔軟素材所製成，正面部為略圓錐狀，在其底部設置具有縫隙的環狀凸部。藉此，本物品，係如「使用狀態之參考剖面圖」所示，能夠使略圓錐狀部沿著基板面撓曲變形，將環狀凸部抵接在基板而予以吸附保持，也能確實地保持住反翹撓曲的基板。;【設計說明】;圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分；圖式中一點鏈線所圍繞者，係界定本案所欲主張之範圍，該一點鏈線本身為本案不主張設計之部分。;「參考立體圖」中，施以薄墨的部分係為用來表現主張設計之部分。