基板搬運用保持墊之部分

【物品用途】;本設計的物品是在半導體製造裝置中，配置在搬運半導體晶圓之類的基板用的搬運支臂上來使用的保持墊。本物品，係如「使用狀態之參考圖」所示，為配置在搬運支臂的基板保持部，抵接於所搬運的基板之邊緣部而予以吸附保持，當搬運支臂動作時，可防止基板從保持位置偏移或脫落。本物品，係在正面側的圓環狀部具備突起部，並且使圓環狀部的上端至下端距離加大。藉此，本物品，於使用時，能夠減少與吸引保持的基板之接觸面，且加大圓環狀部的內部之空間，可防止本物品蓄積基板的熱能，可抑制搬運支臂或後來所搬運的基板之高溫化。;【設計說明】;圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分；圖式中一點鏈線所圍繞者，係界定本案所欲主張之範圍，該一點鏈線本身為本案不主張設計之部分。