Electromagnetic field generator and method of operation

An electromagnetic field generator and method of operation for ion beam deposition of magnetic thin-film materials is presented. A combination of open frame electromagnetic field generator elements provides precise control of magnetic field directionality. This control enables deposition of oriented...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: NAVY, ABRAHAM J, HAYES, ALAN V, FREMGEN, ROGER P, RISCA, MIHAI S, HEGDE, HARI S
Format: Patent
Sprache:eng
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