A method for automatically aligning a scanning transmission electron microscope for precession electron diffraction data mapping

A method for automatically aligning a scanning tunneling electron microscope for acquiring precession electron diffraction mapping.

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: WEISS, JON KARL, BENNER, GERD LUDWIG, LENCOVA, BOHUMILA, PETRAS, STANISLAV
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:A method for automatically aligning a scanning tunneling electron microscope for acquiring precession electron diffraction mapping.