İnce film kaplamaların çöktürülmesi için düzenek ve bu düzeneğin kullanılması için çöktürme usulü
Bu buluş, ince film kaplamaların bir alt tabaka üzerine çöktürülmesi için bir düzenekle ilgilidir. Çöktürme düzeneği, çöktürülecek gaz haldeki reaktan malzemeleri, bir veya daha çok ayırma aygıtı ve/veya usulü ile çöktürme düzeneğinin içinde birbirinden ayrı tutmak, ancak yine de kimyasal reaktanlar...
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , , , , , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | tur |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| container_end_page | |
|---|---|
| container_issue | |
| container_start_page | |
| container_title | |
| container_volume | |
| creator | DAVID A., STRICKLER MICHEL J., SOUBEYRAND YASUNORI, SETO KEIKO, TSURI DOUGLAS M., NELSON IAN R., WILLIAMS KEVIN D., SANDERSON |
| description | Bu buluş, ince film kaplamaların bir alt tabaka üzerine çöktürülmesi için bir düzenekle ilgilidir. Çöktürme düzeneği, çöktürülecek gaz haldeki reaktan malzemeleri, bir veya daha çok ayırma aygıtı ve/veya usulü ile çöktürme düzeneğinin içinde birbirinden ayrı tutmak, ancak yine de kimyasal reaktanların, ticari olarak uygulanabilir çöktürme hızlarıyla tekdüze bir film oluşturmak için yeterince hızlı bir şekilde, alt tabaka yüzeyinde veya bu yüzeyin yakınında karışmalarına imkan vermek üzere tasarlanmıştır.
The invention relates to an apparatus for depositing thin film coatings on a substrate. The deposition apparatus is designed to keep gaseous reactant materials to be deposited apart from one another in the deposition apparatus, by one or more separation devices and/or methods, but nevertheless, to allow the chemical reactants to mix and react at or near the substrate surface, rapidly enough to create a uniform film at commercially viable deposition rates. |
| format | Patent |
| fullrecord | <record><control><sourceid>epo_EVB</sourceid><recordid>TN_cdi_epo_espacenet_TR201903701TT4</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>TR201903701TT4</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-epo_espacenet_TR201903701TT43</originalsourceid><addsrcrecordid>eNqNjLEKwjAURbs4iPoPD5yF1griLIqzZC_P-gohL7E0jYM_49jVLk7Zkg-zQ3V2uhzu4UyTJr5MSVBJ1qCwZtTI2MTeQOjCW7XBN8GzJitBhk4auAb_IEMK7gQX98X4HC7lmNHEnjXa2I_-L6MJnHUc_DyZVMiWFuPOkuXxIPanFdW3gmyN5RBsC3Fep9kuzbdpJsQm_8_6ANwDUYI</addsrcrecordid><sourcetype>Open Access Repository</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>patent</recordtype></control><display><type>patent</type><title>İnce film kaplamaların çöktürülmesi için düzenek ve bu düzeneğin kullanılması için çöktürme usulü</title><source>esp@cenet</source><creator>DAVID A., STRICKLER ; MICHEL J., SOUBEYRAND ; YASUNORI, SETO ; KEIKO, TSURI ; DOUGLAS M., NELSON ; IAN R., WILLIAMS ; KEVIN D., SANDERSON</creator><creatorcontrib>DAVID A., STRICKLER ; MICHEL J., SOUBEYRAND ; YASUNORI, SETO ; KEIKO, TSURI ; DOUGLAS M., NELSON ; IAN R., WILLIAMS ; KEVIN D., SANDERSON</creatorcontrib><description>Bu buluş, ince film kaplamaların bir alt tabaka üzerine çöktürülmesi için bir düzenekle ilgilidir. Çöktürme düzeneği, çöktürülecek gaz haldeki reaktan malzemeleri, bir veya daha çok ayırma aygıtı ve/veya usulü ile çöktürme düzeneğinin içinde birbirinden ayrı tutmak, ancak yine de kimyasal reaktanların, ticari olarak uygulanabilir çöktürme hızlarıyla tekdüze bir film oluşturmak için yeterince hızlı bir şekilde, alt tabaka yüzeyinde veya bu yüzeyin yakınında karışmalarına imkan vermek üzere tasarlanmıştır.
The invention relates to an apparatus for depositing thin film coatings on a substrate. The deposition apparatus is designed to keep gaseous reactant materials to be deposited apart from one another in the deposition apparatus, by one or more separation devices and/or methods, but nevertheless, to allow the chemical reactants to mix and react at or near the substrate surface, rapidly enough to create a uniform film at commercially viable deposition rates.</description><language>tur</language><subject>CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUSENAMELS ; CHEMICAL SURFACE TREATMENT ; CHEMISTRY ; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL ; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL ; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL ; COATING METALLIC MATERIAL ; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ; GLASS ; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL ; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS ; METALLURGY ; MINERAL OR SLAG WOOL ; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS,MINERALS OR SLAGS ; SURFACE TREATMENT OF GLASS ; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION</subject><creationdate>2019</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20190422&DB=EPODOC&CC=TR&NR=201903701T4$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,776,881,25544,76293</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20190422&DB=EPODOC&CC=TR&NR=201903701T4$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>DAVID A., STRICKLER</creatorcontrib><creatorcontrib>MICHEL J., SOUBEYRAND</creatorcontrib><creatorcontrib>YASUNORI, SETO</creatorcontrib><creatorcontrib>KEIKO, TSURI</creatorcontrib><creatorcontrib>DOUGLAS M., NELSON</creatorcontrib><creatorcontrib>IAN R., WILLIAMS</creatorcontrib><creatorcontrib>KEVIN D., SANDERSON</creatorcontrib><title>İnce film kaplamaların çöktürülmesi için düzenek ve bu düzeneğin kullanılması için çöktürme usulü</title><description>Bu buluş, ince film kaplamaların bir alt tabaka üzerine çöktürülmesi için bir düzenekle ilgilidir. Çöktürme düzeneği, çöktürülecek gaz haldeki reaktan malzemeleri, bir veya daha çok ayırma aygıtı ve/veya usulü ile çöktürme düzeneğinin içinde birbirinden ayrı tutmak, ancak yine de kimyasal reaktanların, ticari olarak uygulanabilir çöktürme hızlarıyla tekdüze bir film oluşturmak için yeterince hızlı bir şekilde, alt tabaka yüzeyinde veya bu yüzeyin yakınında karışmalarına imkan vermek üzere tasarlanmıştır.
The invention relates to an apparatus for depositing thin film coatings on a substrate. The deposition apparatus is designed to keep gaseous reactant materials to be deposited apart from one another in the deposition apparatus, by one or more separation devices and/or methods, but nevertheless, to allow the chemical reactants to mix and react at or near the substrate surface, rapidly enough to create a uniform film at commercially viable deposition rates.</description><subject>CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUSENAMELS</subject><subject>CHEMICAL SURFACE TREATMENT</subject><subject>CHEMISTRY</subject><subject>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</subject><subject>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</subject><subject>COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL</subject><subject>COATING METALLIC MATERIAL</subject><subject>DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL</subject><subject>GLASS</subject><subject>INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL</subject><subject>JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS</subject><subject>METALLURGY</subject><subject>MINERAL OR SLAG WOOL</subject><subject>SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS,MINERALS OR SLAGS</subject><subject>SURFACE TREATMENT OF GLASS</subject><subject>SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2019</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNqNjLEKwjAURbs4iPoPD5yF1griLIqzZC_P-gohL7E0jYM_49jVLk7Zkg-zQ3V2uhzu4UyTJr5MSVBJ1qCwZtTI2MTeQOjCW7XBN8GzJitBhk4auAb_IEMK7gQX98X4HC7lmNHEnjXa2I_-L6MJnHUc_DyZVMiWFuPOkuXxIPanFdW3gmyN5RBsC3Fep9kuzbdpJsQm_8_6ANwDUYI</recordid><startdate>20190422</startdate><enddate>20190422</enddate><creator>DAVID A., STRICKLER</creator><creator>MICHEL J., SOUBEYRAND</creator><creator>YASUNORI, SETO</creator><creator>KEIKO, TSURI</creator><creator>DOUGLAS M., NELSON</creator><creator>IAN R., WILLIAMS</creator><creator>KEVIN D., SANDERSON</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20190422</creationdate><title>İnce film kaplamaların çöktürülmesi için düzenek ve bu düzeneğin kullanılması için çöktürme usulü</title><author>DAVID A., STRICKLER ; MICHEL J., SOUBEYRAND ; YASUNORI, SETO ; KEIKO, TSURI ; DOUGLAS M., NELSON ; IAN R., WILLIAMS ; KEVIN D., SANDERSON</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_TR201903701TT43</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>tur</language><creationdate>2019</creationdate><topic>CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUSENAMELS</topic><topic>CHEMICAL SURFACE TREATMENT</topic><topic>CHEMISTRY</topic><topic>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</topic><topic>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</topic><topic>COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL</topic><topic>COATING METALLIC MATERIAL</topic><topic>DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL</topic><topic>GLASS</topic><topic>INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL</topic><topic>JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS</topic><topic>METALLURGY</topic><topic>MINERAL OR SLAG WOOL</topic><topic>SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS,MINERALS OR SLAGS</topic><topic>SURFACE TREATMENT OF GLASS</topic><topic>SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>DAVID A., STRICKLER</creatorcontrib><creatorcontrib>MICHEL J., SOUBEYRAND</creatorcontrib><creatorcontrib>YASUNORI, SETO</creatorcontrib><creatorcontrib>KEIKO, TSURI</creatorcontrib><creatorcontrib>DOUGLAS M., NELSON</creatorcontrib><creatorcontrib>IAN R., WILLIAMS</creatorcontrib><creatorcontrib>KEVIN D., SANDERSON</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>DAVID A., STRICKLER</au><au>MICHEL J., SOUBEYRAND</au><au>YASUNORI, SETO</au><au>KEIKO, TSURI</au><au>DOUGLAS M., NELSON</au><au>IAN R., WILLIAMS</au><au>KEVIN D., SANDERSON</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>İnce film kaplamaların çöktürülmesi için düzenek ve bu düzeneğin kullanılması için çöktürme usulü</title><date>2019-04-22</date><risdate>2019</risdate><abstract>Bu buluş, ince film kaplamaların bir alt tabaka üzerine çöktürülmesi için bir düzenekle ilgilidir. Çöktürme düzeneği, çöktürülecek gaz haldeki reaktan malzemeleri, bir veya daha çok ayırma aygıtı ve/veya usulü ile çöktürme düzeneğinin içinde birbirinden ayrı tutmak, ancak yine de kimyasal reaktanların, ticari olarak uygulanabilir çöktürme hızlarıyla tekdüze bir film oluşturmak için yeterince hızlı bir şekilde, alt tabaka yüzeyinde veya bu yüzeyin yakınında karışmalarına imkan vermek üzere tasarlanmıştır.
The invention relates to an apparatus for depositing thin film coatings on a substrate. The deposition apparatus is designed to keep gaseous reactant materials to be deposited apart from one another in the deposition apparatus, by one or more separation devices and/or methods, but nevertheless, to allow the chemical reactants to mix and react at or near the substrate surface, rapidly enough to create a uniform film at commercially viable deposition rates.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
| fulltext | fulltext_linktorsrc |
| identifier | |
| ispartof | |
| issn | |
| language | tur |
| recordid | cdi_epo_espacenet_TR201903701TT4 |
| source | esp@cenet |
| subjects | CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUSENAMELS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL GLASS INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS METALLURGY MINERAL OR SLAG WOOL SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS,MINERALS OR SLAGS SURFACE TREATMENT OF GLASS SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION |
| title | İnce film kaplamaların çöktürülmesi için düzenek ve bu düzeneğin kullanılması için çöktürme usulü |
| url | https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2025-01-27T13%3A34%3A30IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-epo_EVB&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:patent&rft.genre=patent&rft.au=DAVID%20A.,%20STRICKLER&rft.date=2019-04-22&rft_id=info:doi/&rft_dat=%3Cepo_EVB%3ETR201903701TT4%3C/epo_EVB%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true |