DEVICE FOR MEASURING THICKNESS OF METAL-BASED FILMS

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: SHESTOV VIKTOR P,SU, BELIK VLADIMIR A,SU, STUPAK VLADIMIR A,SU, KORZHAVYJ ALEKSEJ P,SU, FAJFER SERGEJ I,SU, BAZHIN ANATOLIJ I,SU, KULAKOV MIKHAIL M,SU, KAMENTSEV VALERIJ E,SU
Format: Patent
Sprache:eng
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