METHOD OF CHECKING SEMICONDUCTOR MONOCRYSTAL SURFACE LAYER AND THREE-CRYSTAL X-RAY SPECTROMETER FOR PERFORMING SAME

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	ZAVYALOVA ANNA A,SU, IMAMOV RAFIK M,SU, BOLDYREV VLADIMIR P,SU, KOVALCHUK MIKHAIL V,SU, AFANASEV ALEKSANDR M,SU, LOBANOVICH EDUARD F,SU
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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