METHOD OF PRODUCING EPITAXIAL FILM STRUCTURES

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SALASHCHENKO N.N.,SU, GAPONOV S.V.,SU, LUSKIN B.M.,SU
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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