METHOD FOR MAKING EPITAXIAL LAYERS

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SKVORTSOV I.M.,SU, SIRYATSKAYA V.N.,SU, ZHIGACH A.F.,SU, LAPIDUS I.I.,SU
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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