EXTENDED ELECTRIC ARC EVAPORATOR OF METALS

FIELD: application of coatings in vacuum. SUBSTANCE: cathode made from individual electrically-insulated sections consisting from various materials included into multilayer coating ensures the use of one group of anodes for evaporation of material from the surface of various cathode sections. The mechanism for horizontal propulsion of cathode sections provides for disposition of only one cathode section between the anodes. This ensures the same conditions for settling of the evaporated flux from various cathode section on the backing. EFFECT: improved design. 2 cl, 2 dwg Использование: в технике нанесения покрытий в вакууме для получения многослойных металлических пленок на металлах и диэлектриках. Сущность изобретения: выполнение катода в виде отдельных электроизолированных секций, изготовленных из различных материалов, входящих в состав многослойного покрытия, обеспечивает использование одной группы анодов для испарения материала с поверхности различных секций катода. При помощи механизма перемещения секций катода в горизонтальной плоскости обеспечивается нахождение между анодами только одной секции катода, что приводит к созданию одинаковых условий осаждения испаренного потока от различных секций катода на подложку. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.