CHARGED PARTICLES SOURCE

FIELD: gas-discharge process devices. SUBSTANCE: hollow cathode of charged-particles source is installed in auxiliary chamber. Disk mounted on end of cathode surface facing anode forms, together with cathode, annular slit. Slit area is two orders of magnitude smaller than that of auxiliary chamber internal surface. Chamber accommodates additional disks forming, together with cathode holder, annular slits. Area of each slit is greater than 1) of area of part of chamber internal surface between adjacent additional disks. This enables heating of active material in hollow cathode to temperature required for exciting arc discharge. Auxiliary chamber can be provided with contracting hole communicating with anode through limiting resistor is placed between cathode and anode. EFFECT: improved stability of arc discharge excitation. 2 cl, 1 dwg Использование: газоразрядные технологические устройства для обработки материалов в вакууме. Сущность изобретения: полый катод источника заряженных частиц установлен по вспомогательной камере. Со стороны торцевой поверхности катода, обращенной к аноду, установлен диск, образующий с катодом кольцевую щель. Площадь щели на два порядка меньше площади внутренней поверхности вспомогательной камеры. В полости камеры установлены дополнительные диски, образующие с держателем катода кольцевые щели. Площадь каждой щели больше, чем 1% от площади части внутренней поверхности камеры, заключенной между соседними дополнительными дисками. Такое выполнение позволяет разогреть активное вещество в полом катоде до температуры, необходимой для возбуждения дугового разряда. Вспомогательная камера может быть выполнена с цилиндрическим выступом в сторону анода. При этом между анодом и катодом установлен промежуточный электрод с контрагирующим отверстием, соединенный с анодом через ограничительное сопротивление. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.