PHOTOMASK CONTROL DEVICE

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	POPOVICH BORIS D,SU, SAMBUROV ANATOLIJ YA,SU, OGINSKIJ VLADIMIR V,SU, GAGARIN VIKTOR N,SU
Format:	Patent
Sprache:	eng ; rus
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS TESTING
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