METHOD OF PRODUCING SILICON NITRIDE

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: KOSOLAPOVA TATYANA YA,SU, LYUDVINSKAYA TATYANA A,SU, BARTNITSKAYA TAMARA S,SU, VLASOVA MARINA V,SU, KURBAKOVA ANNA P,SU, EFIMENKO INNESA A,SU, SUKHIKH LEONID L,SU
Format: Patent
Sprache:eng ; rus
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