PHOTOPOLYMERIZING COMPOSITION FOR PREPARING OF MATRIX PROTECTIVE RELIEF FOR GALVANOPLASTIC ACCUMULATING

FIELD: photography. SUBSTANCE: composition has the following ratio of components, wt. -% : copolymer 15-36; dimethacrylate triethylene glycol 25-33; benzoin isobutyl ester 1.0-1.5; 3,5-di-tert. -butyl-benzoquinone-1,2 0.02-0.05, and ethanol - the rest. The source of copolymer: copolymer of methacryl...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: SHUL'PIN G.P, KNJAZEVA T.E, TARANETS V.P, SEMCHIKOV JU.D, TREUSHNIKOV V.M, OLEJNIK A.V, ESIN S.A, KALASHNIKOV B.P, ZUEVA T.A, MODEVA SH.I
Format: Patent
Sprache:eng ; rus
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:FIELD: photography. SUBSTANCE: composition has the following ratio of components, wt. -% : copolymer 15-36; dimethacrylate triethylene glycol 25-33; benzoin isobutyl ester 1.0-1.5; 3,5-di-tert. -butyl-benzoquinone-1,2 0.02-0.05, and ethanol - the rest. The source of copolymer: copolymer of methacrylic acid with methylmethacrylate or butylmethacrylate (content of links is 20-25 wt. -% and 80-75 wt. -% , respectively), mol. mass is 45000-99000, composition heterogeneity is 5% . For relief of visual control composition has a dye rhodamine 6Ж (0.14-0.52 wt. -% ). Use of proposed composition ensures to increase the resolution at the thickness of layers 20-45 microns at rectangular contour interval of relief. EFFECT: enhanced resolution of photoresist layers. 2 cl, 1 tbl Изобретение относится к фотографии, в частности к фотополимеризующейся композиции для изготовления защитного рельефа гальванопластического наращивания. С целью увеличения разрешающей способности при толщинах слоев 20 - 45 мкм и прямоугольном профиле сечения рельефа, композиция включает следующее соотношение компонентов, мас. % : сополимер 15 - 36; диметакрилаттриэтиленгликоль 25 - 33; изобутиловый эфир бензоина 1,0 - 1,5; 3,5-ди-трет-бутилбензохинон-1,2 0,02-0,05; спирт этиловый остальное. В качестве сополимера используют сополимер метакриловой кислоты и метилметакрилата или бутилметакрилата с содержанием звеньев 20-25 мас. % и 80 - 75 мас. % соответственно и мол. мас. 45000-99000 с композиционной неоднородностью 5% . С целью облегчения визуального контроля процесса проявления рельефа, композиция содержит краситель родамин 6Ж в количестве 0,14-0,52 мас. % . Композиция позволяет увеличить разрешающую способность слоев фоторезиста с толщиной от 45 до 2 мкм с отношением минимального линейного размера рельефа к его высоте не более 1 и прямоуголльным профилем сечения. 1 з. п. ф-лы, 1 табл.