METHOD AND DEVICE FOR MEASURING DISTRIBUTION OF ILLUMINANCE

FIELD: semiconductor engineering. SUBSTANCE: method is based upon transforming illuminance to distribution currents of elementary cells, separating currents of elementary cells to two groups by zero potential line, amplifying current from single group to Ktimes, subtracting of amplified currents, integrating result of subtraction in time, controlling position of zero potential line corresponding to result of subtraction, measuring value of output voltage of multiscan. Total current of all the cells of multiscan is amplified into Ktimes corresponding to program of measurement, moreover, value Kis selected to satisfy to relation K/K≅1, where n is number of measurements. Subtraction of amplified current of single group of elementary cells is performed from amplified total current of all cells. Result of subtraction is integrated and simultaneously compared with preset value of residual current. Separation, amplification, subtraction, integration, zero potential line control and measurement is carried out N times (n= 1, 2, 3 . . . . , N), moreover, change in value of coefficient Kis performed in moment when value of subtraction result is fixed to be equal to value of residual current. Value of output voltage is measured in the same moment. EFFECT: improved truth of information of measurements. 2 cl, 1 dwg Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано как для непосредственной регистрации распределения освещенности в поле зрения линейного фотоприемника, так и для формирования функционалов - признаков изображения. Цель изобретения - повышение информативности измерений. В способе измерения распределения освещенности, основанном на преобразовании освещенности в распределение токов элементарных ячеек, разделении токов элементарных ячеек на две группы линией нулевого потенциала, усилении тока от одной группы в Kраз, вычитании усиленных токов, интегрировании во времени результата вычитания, управлении положением линии нулевого потенциала в соответствии с результатом вычитания, измерении величины выходного напряжения мультискана, новым является то, что усиливают суммарный ток от всех элементарных ячеек мультискана в Kраз в соответствии с программой измерений, причем величину Kвыбирают удовлетворяющей соотношению K/ K/K≅1, где n - число измерений. Вычитание усиленного тока от одной группы элементарных ячеек осуществляют из усиленного суммарного тока от всех элементарных ячеек, а одновременно с интегрированием результата вычитания его сопост