METHOD OF PRODUCING SILICON NITRIDE ULTRADISPERSED POWDER

FIELD: inorganic chemistry. SUBSTANCE: tetramethylsilane and hydrazine were fed to the tube reactor at temperature 500-1700 C at volume ratio 0.03-0.44. Tetramethylsilane concentration is 0.2-93 vol. Hydrogen and/or nitrogen is blown through reactor. Parental components were interacted in reactor, and silicon nitride is formed as ultradispersed powder. Powder removed by gaseous flow in reactor is separated from the gas and collected. Ultradispersed powder of silicon nitride is prepared at amorphous state with average grain size 0.01-0.8 mcm and yield up to 96% EFFECT: increased yield of product. 2 cl, 1 tbl Изобретение относится к способам получения ультрадисперсных порошков аморфного нитрида кремния, позволяющим получать продукт в аморфном состоянии. Цель изобретения - увеличение его выхода. В трубчатый реактор при температуре 500 - 1700°С подают тетраметилсилан и гидразин при объемном соотношении 0,03 - 0,44. Концентрация тетраметилсилана равна 0,2 - 93 об.%. Через реактор продувают водород и/или азот. Исходные компоненты взаимодействуют в реакторе с образованием ультрадисперсного порошка нитрида кремния. Порошок, вынесенный проходящим через реактор газовым потоком, отделяют от газа и собирают. В результате получают ультрадисперсный порошок нитрида кремния в аморфном состоянии со средним размером зерна 0,01 - 0,8 мкм и выходом до 96% . 1 з.п. ф-лы, 1 табл.