METHOD OF ASSESSING MAXIMUM SIZES OF PORES OF DIELECTRIC FILMS IN SEMICONDUCTORS OF ELECTRONIC CONDUCTION

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	GRITSAJ VIKTOR G,SU, LESHCHENKO NIKOLAJ E,SU
Format:	Patent
Sprache:	eng ; rus
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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