METHOD FOR VACUUM-ARC DEPOSITION OF TITANIUM COATS

FIELD: deposition of titanium coats. SUBSTANCE: substrate 1 is placed in solid angle range of 10 to 30 deg. relative to point of intersection of cathode 2 and its longitudinal axis. EFFECT: improved sorptive properties of coat. 1 dwg Изобретение относится к вакуумной технологии нанесения титановых п...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Bojarina M.F, Vil'dgrube V.G, Kuznetsov V.G, Abramov I.S, Lisenkov A.A
Format:	Patent
Sprache:	eng ; rus
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	FIELD: deposition of titanium coats. SUBSTANCE: substrate 1 is placed in solid angle range of 10 to 30 deg. relative to point of intersection of cathode 2 and its longitudinal axis. EFFECT: improved sorptive properties of coat. 1 dwg Изобретение относится к вакуумной технологии нанесения титановых покрытий. Цель изобретения - повышение сорбционных свойств покрытия. Для этого подложку 1 помещают в диапазоне телесных углов от 10 до 30относительно точки пересечения поверхности катода 2 и его продольной оси. 1 ил.