METHOD OF X-RAY MICROANALYSIS OF SUBSTANCE WITH ION EXCITATION

FIELD: X-ray analyses. SUBSTANCE: method involves alternate irradiation of sample of analyzed substance and of exemplary sample containing two-component material including two chemical elements with substantially different atomic numbers, registration of characteristics of X-ray quanta of determined elements and of elements of exemplary sample with one detector and spectrometric path with formation of one multichannel spectrum. Collected numbers of pulses conditioned by characteristic emission of determined elements and elements of exemplary sample are measured and used to judge on content of determined chemical elements. In process of performance of analysis ratio of velocities of counting of characteristic emissions of elements of exemplary sample is measured and found value of this ratio is compared with its value at initially chosen energy of ions used in calibration. If compared values do not substantially-statically differed from each other then desired contents are calculated. In opposite case measurement is repeated. EFFECT: improved accuracy of analysis thanks to control over energy of ions. Изобретение относится к рентгеновскому анализу состава вещества, особенно к микроанализу с возбуждением рентгеновского излучения определяемых элементов пучком ионов. Цель изобретения - повышение точности анализа за счет контроля энергии ионов. Способ включает попеременное облучение потоком ионов образца анализируемого вещества и стандартного образца из двухкомпонентного материала, содержащего два элемента с существенно различными атомными номерами, регистрацию характеристических рентгеновских квантов определяемых элементов и элементов стандартного образца одним детектором и спектрометрическим трактом с формированием единого многоканального спектра. Измеряют набранные числа импульсов, обусловленных характеристическим излучением определяемых элементов и элементов стандартного образца, по которым судят о содержаниях определяемых элементов. В процессе выполнения анализа измеряют также отношение скоростей счета характеристических излучений элементов стандартного образца и сравнивают найденное значение этого отношения с его значением при первоначально выбранной энергии ионов, использованной в градуировке. Если сравниваемые значения статистически значимо не отличаются друг от друга, то вычисляют искомые содержания, а в противном случае повторяют измерение.