Устройство для наращивания монокристаллических пленок из паровой фазы вещества

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: GAVRILOVA M.V, GIVARGIZOV E.I, KEVORKOV A.M, SPIRIDONOVA G.I, SHEFTAL N.N
Format: Patent
Sprache:rus
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