ELECTROMAGNETIC-ACOUSTIC TRANSDUCER FOR INSPECTION OF WAFERS WITH NON-PARALLEL EDGES

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	VOLEGOV YURIJ V,SU, TOLIPOV KHORIS B,SU, GUREVICH SERGEJ YU,SU
Format:	Patent
Sprache:	eng ; rus
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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