METHOD OF BATCH PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR STRAIN TRANSDUCER ELEMENTS

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: BORSHCHEV VYACHESLAV N,SU, KHARENKO KONSTANTIN YU,SU, SPALEK YURIJ M,SU, OSIPOV VIKTOR A,SU, TIKHOMIROV MIKHAIL YU,SU
Format: Patent
Sprache:eng ; rus
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