METHOD OF CLEANING GASES FROM ADMIXTURES OF PHOSPHINE AND ARSINE

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SHUMYATSKIJ YURIJ I,SU, FEDOROVSKAYA VERA V,SU, MOJSEJCHUK OLGA V,SU, ZHUKOVA ZINAIDA A,SU, CHUGUNOVA GALINA I,SU, SUCHKOVA VERA N,SU, NESHUMOVA SVETLANA P,SU, BOGDANOV VIKTOR M,SU
Format:	Patent
Sprache:	eng ; rus
Schlagworte:	PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL SEPARATION TRANSPORTING
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