PHOTOSENSITIVE DIELECTRIC COMPOSITION
The abstract is abcent. ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНАЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ КОМПОЗИЦИЯ преимущественно для изготовления толстопленочных микросхем, включающая свинецсодержащее стекло и раствор позитивного фоторезистора на основе эфиров о-хинондиазидов в органическом растворителе, отличающаяся тем, что, с целью повыше...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; rus |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | The abstract is abcent.
ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНАЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ КОМПОЗИЦИЯ преимущественно для изготовления толстопленочных микросхем, включающая свинецсодержащее стекло и раствор позитивного фоторезистора на основе эфиров о-хинондиазидов в органическом растворителе, отличающаяся тем, что, с целью повышения разрешающей способности и улучшения реологических свойств, она дополнительно содержит раствор сополимера изобутилена с пипериленом и нитрилом акриловой кислоты общей формулысо средней мол. м. - 8000000 в диметилформамиде, а в качестве раствора позитивного фоторезиста на основе эфиров о-хинондиазидов в органическом растворителе содержит раствор позитивного фоторезиста на основе сульфоэфиров о-хинондиазидов в диоксане при следующем содержании компонентов, мас.ч.:Свинецсодержащее стекло - 40,5 - 60,0Раствор позитивного фоторезиста на основе сульфоэфиров о-хинондиазидов в диоксане (в пересчете на сухой остаток) - 12,2 - 23,8Сополимер изобутилена, пиперилена и нитрила акриловой кислоты общей формулы - 0,8 - 2,0Диметилформамид - 6,2 - 11,12. Композиция по п.1, отличающаяся тем, что она дополнительно содержит 0,1 - 5,0 мас.ч. α - терпинеола. |
---|