PHOTOSENSITIVE DIELECTRIC COMPOSITION

The abstract is abcent. ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНАЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ КОМПОЗИЦИЯ преимущественно для изготовления толстопленочных микросхем, включающая свинецсодержащее стекло и раствор позитивного фоторезистора на основе эфиров о-хинондиазидов в органическом растворителе, отличающаяся тем, что, с целью повыше...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Stepanova I.P, Shikhanov V.A, Tikhonova N.A
Format: Patent
Sprache:eng ; rus
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:The abstract is abcent. ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНАЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ КОМПОЗИЦИЯ преимущественно для изготовления толстопленочных микросхем, включающая свинецсодержащее стекло и раствор позитивного фоторезистора на основе эфиров о-хинондиазидов в органическом растворителе, отличающаяся тем, что, с целью повышения разрешающей способности и улучшения реологических свойств, она дополнительно содержит раствор сополимера изобутилена с пипериленом и нитрилом акриловой кислоты общей формулысо средней мол. м. - 8000000 в диметилформамиде, а в качестве раствора позитивного фоторезиста на основе эфиров о-хинондиазидов в органическом растворителе содержит раствор позитивного фоторезиста на основе сульфоэфиров о-хинондиазидов в диоксане при следующем содержании компонентов, мас.ч.:Свинецсодержащее стекло - 40,5 - 60,0Раствор позитивного фоторезиста на основе сульфоэфиров о-хинондиазидов в диоксане (в пересчете на сухой остаток) - 12,2 - 23,8Сополимер изобутилена, пиперилена и нитрила акриловой кислоты общей формулы - 0,8 - 2,0Диметилформамид - 6,2 - 11,12. Композиция по п.1, отличающаяся тем, что она дополнительно содержит 0,1 - 5,0 мас.ч. α - терпинеола.