Device for vacuum coating slide bearings

Existing devices for vacuum coating substrates having different shapes, either in continuous or hatch facilities, are equipped in such a way that several coatings are applied after a coating process. The slide bearings are to be coated with several coats and the coating materials used and the conditions related thereto require the use of several coating techniques. This relates inter alia to conveyance parameters. Existing facilities fail to meet these requirements. According to the invention, such a device comprises several aligned processing chambers. Slide bearings which are held together by positive and non-positive fit in tempered carrier bodies are displaced through said chambers comprising pretreatment, atomization and evaporation chambers using a conveyance system adapted to this process. A tempering device for the carrier bodies is connected upstream from the coating track. Corresponding inlet and outlet channels enable air-to-air conveyance. Známe zariadenia na vákuové nanášanie vrstiev na substráty rôzneho tvaru, a to buď ako priechodné, alebo vsadzovacie zariadenia, sú vybavené tak, že sa podľa spôsobu na nanášanie vrstiev nanáša viac vrstiev. Klzné ložiská sa obstarávajú viacerými vrstvami a použité materiály na nanášanie vrstiev a s tým súvisiace podmienky vyžadujú použitie viacerých technológií na nanášanie vrstiev. To sa okrem iného týka prepravných parametrov. Známe zariadenia neumožňujú takéto požiadavky splniť. Podľa vynálezu pozostáva takéto zariadenie z viacerých pracovných komôr, ktoré sú zoradené k sebe. Cez ne sa pohybujú v temperovateľných nosných telesách tvarovoa silovo držané klzné ložiská cez komoru na predbežnú úpravu, rozprašovaciu komoru a odparovaciu komoru s prepravným režimom prispôsobeným procesu. Dráhe na nanášanie vrstiev je predradené temperovacie zariadenie na nosné telesá. Po jednom vstupnom a výstupnom priepuste umožňuje prepravu zo vzduchuna vzduch.