METHODS FOR IMPROVING SHEET RESISTANCE OF SILICIDE LAYER AFTER REMOVAL OF ETCH STOP LAYER

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	HSU PEN-FU, HSU JU-WANG, PERNG BAW- CHING, TSAI MING-HUAN, CHIU YAUN- HUNG
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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