ROTATING DISK REACTOR WITH FERROFLUID SEAL FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	GURARY, ALEXANDER I, BARRISS, LOUISE S, COMUNALE, RICHARD A, FREMGEN, ROGER P, LUSE, TODD A, POLLOCK, JOHN D, MILGATE, III, ROBERT WHITE
Format:	Patent
Sprache:	eng
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