HIGH-VACUUM ADSORPTION PUMP

FIELD: vacuum engineering; evacuation and leakage-detection facilities. SUBSTANCE: pump has extended adsorbing surfaces forming forevacuum cavity 11 and high-vacuum cavity 12 sorbing with the former. To form these cavities, use is made of adsorbent 14 on vessel 3 with cooling agent 4, cooled cryogenic panel 7 with adsorbents 9 and 10 attached on two sides, and sleeve 5 with fixed adsorbent 6. Gases admitted to pump are adsorbed as they flow over pumping-out cavities, and hardly adsorbed gases, such as helium, hydrogen, neon, are admitted to cavity of housing 1 and evacuated by means of external high-vacuum pump. This ensures low partial pressure of helium and other gases during forevacuum pumping already. EFFECT: reduced evacuation time, for example, during leakage detection by using mass-spectrometer method; increased maximum vacuum when pump runs as cryoadsorbing trap due to physical elongation of pumped gases molecular path between extended absorbing surfaces. 3 cl, 1 dwg Изобретение относится к вакуумной технике и может использоваться в различного рода откачном и течеискательном оборудовании. Позволяет сократить время откачки и повысить предельный вакуум при работе насоса в режиме криоадсорбционной ловушки за счет конструктивного удлинения пути молекул откачиваемых газов между развитыми адсорбирующими поверхностями, образующими форвакуумную полость 11 и собирающуюся с ней высоковакуумную полость 12. Для образования этих полостей применяется адсорбент 14 на сосуде 3 с хладагентом 4, охлаждаемые криопанель 7 с закрепленным с двух сторон адсорбентом 9 и 10 и стакан 5 с закрепленным адсорбентом 6. Направляемые в насос газы адсорбируются по мере продвижения по откачивающим полостям, а также трудноадсорбируемые газы, как гелий, водород, неон, поступают в полость корпуса 1 и откачиваются внешним высоковакуумным насосом. В результате обеспечивается низкое парциальное давление гелия и других газов уже при форвакуумном режиме откачки, что сокращает общее время вакуумирования, например, при выполнении течеискания масс-спектрометрическим методом. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.