GAS CONCENTRATION SENSOR

FIELD: measurement technology; measuring carbon monoxide content in exhaust gases of internal combustion engines, ethanol in ambient atmosphere, ammonia in industrial premises and other gases liberated during production processes. SUBSTANCE: gas concentration sensor has base, film heaters, dielectric layer, gas-sensitive member and electrodes for connection to voltage source. Design peculiarity of sensor is that heater and gas-sensitive member are made of one and the same metal oxide, preferably, SnO, with alloying additions. All surface of gas-sensitive member is layer of alternating microirregularities of, for instance, saw-like form. Thickness of this layer is commensurable with size of grain of used metal oxide; no precious metals are used in sensor. EFFECT: enhanced manufacturability of sensor, relatively low cost, improved response to gases to be detected. Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при определении содержания окиси углерода в выхлопных газах двигателей внутреннего сгорания, этанола в окружающей среде, аммиака в промышленных помещениях и других газов, выделяющихся при осуществлении технологических процессов. Датчик для определения концентрации газов состоит из подложки, пленочных нагревателя, диэлектрического слоя, газочувствительного элемента и электродов для подключения к источнику напряжения. Особенность его конструкции заключается в том, что и нагреватель и газочувствительный элемент выполнены из одного и того же оксида металла, предпочтительней из SnO, с легирующими добавками, при этом вся поверхность газочувствительного элемента представляет собой слой чередующихся микронеровностей с профилем, например, пилообразной формы. Толщина этого же слоя соизмерима с размером зерна используемого оксида металла. Датчик технологичен в изготовлении, сравнительно дешев, так как в его конструкции отсутствуют драгоценные металлы, и имеет повышенный отклик на детектируемые газы.