APPARATUS FOR IDENTIFYING THE PARAMETERS OF TRANSIENT RESPONSE OF A MEMS ACCELEROMETER

FIELD: measuring equipment.SUBSTANCE: apparatus relates to the field of measuring equipment and can be used in automatic and automated measuring control systems. The apparatus comprises: a first, second and third division formation blocks; a first, second, third, fourth, fifth, sixth, seventh, eighth, ninth and tenth multiplication formation blocks; a first, second, third, fourth, fifth and sixth difference formation blocks; a first and a second sum formation blocks; a first inversion formation block. In the apparatus for identifying the parameters of transient response of a MEMS accelerometer, an algorithm for multiparametre variational identification of dynamic systems for real models of MEMS accelerometers described by second-order differential equations is implemented, allowing for estimation of the parameters of transient response thereof.EFFECT: increase in the accuracy of estimation of the parameters of a model of a MEMS accelerometer.1 cl, 1 dwg Устройство относится к области измерительной техники и может быть использовано в автоматических и автоматизированных системах измерительного контроля. Устройство содержит: первый, второй и третий блоки формирования деления; первый, второй, третий, четвертый, пятый, шестой, седьмой, восьмой, девятый и десятый блоки формирования умножения; первый, второй, третий, четвертый, пятый и шестой блоки формирования разности; первый и второй блоки формирования суммы; первый блок формирования инверсии. В устройстве идентификации параметров передаточной характеристики MEMS-акселерометра реализуется алгоритм многопараметрической вариационной идентификации динамических систем для реальных моделей MEMS-акселерометров, описываемых дифференциальными уравнениями второго порядка, что позволяет проводить оценку параметров их передаточной характеристики. Технический результат - увеличение точности оценки параметров модели MEMS-акселерометра. 1 ил.