STANDARDLESS HIGHLY COHERENT INTERFEROMETER
FIELD: measuring equipment.SUBSTANCE: invention relates to applied physics, in particular, to equipment for measuring aberrations and shapes of the surface of optical elements and systems. The interferometer comprises a power- and wavelength-stabilised He:Ne laser, a first fibre-optic light beam div...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , , , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; rus |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | FIELD: measuring equipment.SUBSTANCE: invention relates to applied physics, in particular, to equipment for measuring aberrations and shapes of the surface of optical elements and systems. The interferometer comprises a power- and wavelength-stabilised He:Ne laser, a first fibre-optic light beam divider dividing a light beam into a first and a second coherent optical channels, a second fibre-optic light beam divider dividing a light beam into a second and a third coherent optical channels. One standard spherical wave source is connected to the output of each channel. The result achieved by the fact that interferometer comprises a standard spherical wave source generating a comparison wave, a source allowing for reflection testing of the part, as well as a source allowing for through-transmission testing of the part.EFFECT: invention provides a possibility of testing the part without reconfiguring and moving the source of a standard spherical wave, the light whereof is directed to this part both in reflection and through-transmission mode.1 cl, 1 dwg
Изобретение относится к технической физике, в частности к инструментам для измерения аберраций и формы поверхности оптических элементов и систем. Интерферометр содержит стабилизированный по мощности и длине волны Не:Ne-лазер, первый оптоволоконный делитель пучка света, разделяющий пучок света на первый и второй когерентные оптические каналы, второй оптоволоконный делитель пучка света, разделяющий пучок света на второй и третий когерентные оптические каналы. К выходу каждого канала подключен свой источник эталонной сферической волны. Интерферометр содержит источник эталонной сферической волны, генерирующий волну сравнения, источник, позволяющий исследовать деталь «на отражение», а также источник, позволяющий исследовать деталь «на просвет», что дает возможность исследовать деталь без перенастройки и перемещения источника эталонной сферической волны, свет которого направляется на эту деталь и в режиме «на отражение» и в режиме «на просвет». 1 ил. |
---|