FORMING IMAGES IN STRUCTURED ILLUMINATION WITH SPATIAL SELECTION OF PATTERN ANGLE

FIELD: image forming devices.SUBSTANCE: system for forming images in structured illumination comprises a light emitter; a two-dimensional diffraction grating for diffracting light from a light emitter for projecting a first and a second plurality of interference bands oriented in a first direction on a sample plane, and second directions perpendicular to first direction on sample plane, and spatial filter for transmitting diffracted light received from two-dimensional diffraction grating in corresponding first or second direction, and light blocking in corresponding first or second direction. Spatial filter disk has a first plurality of openings and a second plurality of openings orthogonal to the first plurality of openings.EFFECT: high speed, reliability and reproducibility of the system.21 cl, 21 dwg Система формирования изображений при структурированном освещении содержит излучатель света; двухмерную дифракционную решетку для дифракции света от излучателя света для проецирования первого и второго множества интерференционных полос, ориентированных в первом направлении на плоскость образца, и втором направлениях, перпендикулярном к первому направлению, на плоскость образца, и диск пространственного фильтра для пропускания дифрагированного света, принятого от двухмерной дифракционной решетки в соответствующем первом или втором направлении, и блокировки света в соответствующем первом или втором направлении. Диск пространственного фильтра содержит первое множество отверстий и второе множество отверстий, ортогональных к первому множеству отверстий. Технический результат - повышение скорости, надежности и воспроизводимости системы. 2 н. и 19 з.п. ф-лы, 21 ил.