3D MICROSTRUCTURES FORMATION METHOD IN OPTICAL MATERIALS

FIELD: optics.SUBSTANCE: invention relates to a method of forming 3D microstructures in optically transparent material and can be used, for example, for making microoptical elements, fibre and integrated optics, photonics, plasmonics, sensorics and microfluidics. Pulsed laser radiation is exposed to the surface of optically transparent material which is in contact with working fluid absorbing laser radiation. Method includes layer-by-layer removal of optically transparent material, which is placed in wall of chamber filled with working fluid, pressure of which is varied in range from 1 to 30 MPa. Laser radiation beam is focused on the reverse surface of the optically transparent material. Exposure of laser radiation is carried out with formation of a region of high absorption of laser radiation in the working fluid on the boundary with the processed material and formation of 3D microstructures. Energy density of a laser pulse is 5-500 J/cmand a pulse duration of 4-50 ns. As liquid laser absorbing liquid, salts of noble metals, for example, gold or silver, in particular silver nitrate are used.EFFECT: disclosed is 3D microstructures formation method in optical materials.3 cl, 4 dwg Изобретение относится к способу формирования 3D микроструктур в оптически прозрачном материале и может быть использовано, например, для изготовления элементов микрооптики, волоконной и интегральной оптики, фотоники, плазмоники, сенсорики и микрофлюидики. Осуществляют воздействие импульсного лазерного излучения на поверхность оптически прозрачного материала, которая находится в контакте с поглощающей лазерное излучение рабочей жидкостью. Осуществляют послойное удаление оптически прозрачного материала, который размещают в стенке камеры, заполненной рабочей жидкостью, давление которой изменяют в диапазоне от 1 до 30 МПа. Пучок лазерного излучения фокусируют на обратной поверхности оптически прозрачного материала. Воздействие лазерного излучения ведут с обеспечением формирования на границе с обрабатываемым материалом области повышенного поглощения лазерного излучения в рабочей жидкости и образованием 3D микроструктур. Плотность энергии в лазерном импульсе составляет 5-500 Дж/см, а длительность импульса 4-50 нс. В качестве поглощающей лазерное излучение жидкости применяют соли благородных металлов, например золота или серебра, в частности нитрат серебра. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.