INTEGRATED MICROMECHANICAL GYROSCOPE-ACCELEROMETER

FIELD: measuring equipment.SUBSTANCE: invention relates to measurement equipment and microsystem equipment. Essence of the invention consists in that the integrated micromechanical gyroscope-accelerometer additionally comprises four fixed electrodes of capacitive displacement transducers, four fixed electrodes of electrostatic drives, eight additional supports, eight additional U-shaped systems of elastic beams, wherein four movable electrodes of capacitive displacement transducers are made in form of T-shaped plates with perforation with comb structures on three sides, connected to inertial mass by means of E-shaped systems of elastic beams, made from semiconductor material and located with a gap relative to semiconductor substrate, four fixed electrodes of capacitive displacement transducers are combined in pairs, and inertial mass is made with perforation and consists of two parts: internal and external, connected by two torsion bars.EFFECT: possibility of measuring values of angular velocity and linear acceleration along axes Z directed perpendicular to plane of substrate of gyroscope-accelerometer, and X, Y located in plane of device substrate.1 cl, 2 dwg Изобретение относится к области измерительной техники и микросистемной технике. Сущность изобретения заключается в том, что интегральный микромеханический гироскоп-акселерометр дополнительно содержит четыре неподвижных электрода емкостных преобразователей перемещений, четыре неподвижных электрода электростатических приводов, восемь дополнительных опор, восемь дополнительных П-образных систем упругих балок, причем четыре подвижных электрода емкостных преобразователей перемещений выполнены в виде Т-образных пластин с перфорацией с гребенчатыми структурами с трех сторон, соединенных с инерционной массой с помощью Ш-образных систем упругих балок, выполненных из полупроводникового материала и расположенных с зазором относительно полупроводниковой подложки, четыре неподвижных электрода емкостных преобразователей перемещений попарно объединены в два, а инерционная масса выполнена с перфорацией и состоит из двух частей: внутренней и внешней, соединенных двумя торсионами. Технический результат - возможность измерения величин угловой скорости и линейного ускорения вдоль осей Z, направленной перпендикулярно плоскости подложки гироскопа-акселерометра, и X, Y, расположенных в плоскости подложки устройства. 2 ил.