OPTICAL INSPECTION METHOD AND DEVICE USING IT

FIELD: optical inspection.SUBSTANCE: invention relates to optical inspection. Device for optical inspection of surface comprises: at least two radiation sources with different position and direction of emission; at least one of aperture and radiation-absorbing box, configured to block radiation, other than radiation scattered on surface; at least one chamber; and a processor comprising a trained classifier based on artificial intelligence and configured to: perform preprocessing of images, where preprocessing includes at least background removal, detect defect on at least one surface, where defect is detected on at least one surface, if at least one image from said set of images displays scattered radiation; determine the defect type, and whether the defect is false or true, by evaluating the detected defect by the trained classifier based on artificial intelligence. Determination whether the defect is false or true is performed based on a certain type of defect.EFFECT: invention increases accuracy of determining defects.26 cl, 6 dwg Изобретение относится к области оптической проверки. Устройство для оптической проверки поверхности содержит: по меньшей мере два источника излучения с отличающимися положением и направлением испускания; по меньшей мере одно из апертуры и поглощающего излучение короба, выполненные с возможностью блокировки излучения, кроме излучения, рассеянного на поверхности; по меньшей мере одну камеру; и процессор, содержащий обученный классификатор на основе искусственного интеллекта и выполненный с возможностью: выполнять предобработку изображений, где предобработка включает в себя по меньшей мере удаление фона, обнаруживать дефект на по меньшей мере одной поверхности, где дефект обнаружен на по меньшей мере одной поверхности, если на по меньшей мере одном изображении из упомянутого набора изображений обнаружено отображение рассеянного излучения; определять тип дефекта, и является ли дефект ложным или истинным, посредством оценки обнаруженного дефекта обученным классификатором на основе искусственного интеллекта. При этом определение, является ли дефект ложным или истинным, выполняется на основании определенного типа дефекта. Изобретение позволяет повысить точность определения дефектов. 2 н. и 24 з.п. ф-лы, 6 ил.