METHOD OF FORMING A PRINTING HEAD FOR THERMOGRAPHIC INK-JET PRINTING, A PRINTING HEAD FOR THERMOGRAPHIC INK-JET PRINTING AND A SEMICONDUCTOR PLATE

FIELD: printing.SUBSTANCE: method is provided for formation of a printing head for thermographic jet printing, which includes at least the following stages: providing a semiconductor plate comprising an integrated electronic circuit and a section for forming a thermal drive element, wherein the integrated circuit comprises at least: a heat-insulating layer formed over the substrate; and first metal layer formed above heat-insulating layer; wherein first metal layer passes into section for formation of thermal drive element; and section etching to form thermal drive element to first metal layer, so that first metal layer acts as etching preventing layer. Besides, a printing head for thermographic jet printing is provided, which is formed by means of the method according to the present invention, and a semiconductor plate for formation of printing heads for thermographic jet printing by means of the method according to the present invention.EFFECT: method of forming a printing head for thermographic inkjet printing, a printing head for thermographic inkjet printing and a semiconductor wafer are disclosed.11 cl, 21 dwg Предусмотрен способ образования печатающей головки для термографической струйной печати, включающий по меньшей мере следующие этапы: обеспечение полупроводниковой пластины, содержащей интегральную электронную схему и секцию для образования термического приводного элемента, при этом интегральная схема содержит по меньшей мере: теплоизоляционный слой, образуемый поверх подложки; и первый металлический слой, образуемый поверх теплоизоляционного слоя; при этом первый металлический слой проходит в секцию для образования термического приводного элемента; и травление секции для образования термического приводного элемента до первого металлического слоя, так что первый металлический слой действует как слой, препятствующий травлению. Кроме того, предусмотрены печатающая головка для термографической струйной печати, образованная при помощи способа согласно настоящему изобретению, и полупроводниковая пластина для образования печатающих головок для термографической струйной печати при помощи способа согласно настоящему изобретению. 3 н.и 8 з.п. ф-лы, 21 ил.