METHOD OF LASER PROCESSING OF NON-METALLIC PLATES

FIELD: technological processes.SUBSTANCE: invention relates to technological processes and can be used for laser annealing of plates of semiconductor, ceramic and glass-like materials. Disclosed is a method of laser processing of non-metallic plates, consisting in irradiation of their surface with continuous laser radiation with energy density sufficient for annealing temperature to reach plate surface. According to the disclosed method, the plate is preheated to a temperature which enables to meet the criterion of thermal strength.EFFECT: elimination of destruction of plates by thermoelastic stresses during processing and increase of yield of suitable plates.1 cl Изобретение относится к области технологических процессов и может быть использовано для лазерного отжига пластин из полупроводниковых, керамических и стеклообразных материалов. Предложен способ лазерной обработки неметаллических пластин, заключающийся в облучении их поверхности непрерывным лазерным излучением с плотностью энергии, достаточной для достижения поверхностью пластины температуры отжига. Согласно заявленному способу осуществляют предварительный нагрев пластины до температуры, обеспечивающей выполнение критерия термопрочности. Технический результат - исключение разрушения пластин термоупругими напряжениями в процессе обработки и повышение выхода годных пластин.