INTEGRAL MICRO MECHANICAL GYROSCOPE-ACCELEROMETER

FIELD: measuring equipment.SUBSTANCE: invention relates to the angular velocity and linear acceleration integral measuring elements. Essence of the invention lies in the fact that the integrated micromechanical gyro accelerometer additionally contains the displacement capacitive transducers eight additional fixed electrodes, capacitive displacement transducers six additional moving electrodes, the electrostatic drives two moving electrodes, electrostatic drives eight stationary electrodes, twelve additional supports, the elastic beams sixteen U-shaped systems, the elastic beams four L-shaped systems, made of semiconductor material and located with a gap relative to the semiconductor substrate additional inertial mass.EFFECT: measurement of linear acceleration along the X and Y axes, which are mutually perpendicular in the substrate plane, and the Z axis, directed perpendicular to the substrate plane, and the angular velocity along the X axis, located in the substrate plane, and Z axis, perpendicular to the substrate plane.1 cl, 2 dwg Изобретение относится к интегральным измерительным элементам величин угловой скорости и линейного ускорения. Сущность изобретения заключается в том, что интегральный микромеханический гироскоп-акселерометр дополнительно содержит восемь дополнительных неподвижных электродов емкостных преобразователей перемещений, шесть дополнительных подвижных электродов емкостных преобразователей перемещений, два подвижных электрода электростатических приводов, восемь неподвижных электродов электростатических приводов, двенадцать дополнительных опор, шестнадцать П-образных систем упругих балок, четыре Г-образные системы упругих балок, дополнительную инерционную массу, выполненную из полупроводникового материала и расположенную с зазором относительно полупроводниковой подложки. Технический результат - измерение величин линейного ускорения вдоль осей X и Y, расположенных взаимно перпендикулярно в плоскости подложки, и оси Z, направленной перпендикулярно плоскости подложки, и угловой скорости вдоль оси X, расположенной в плоскости подложки, и оси Z, направленной перпендикулярно плоскости подложки. 2 ил.