DIAMOND COATING AND METHOD OF ITS DEPOSITION

FIELD: technological processes.SUBSTANCE: invention relates to a microcrystalline diamond coating intended for tribological applications in the field of micromechanics, as well as in optics. Micromechanical component includes a substrate having a surface with a diamond coating comprising at least one stack of a first nanocrystalline diamond layer with a grain size on the surface of less than 50 nm, and a second microcrystalline layer with a grain size on the surface of the order of 100 nm, the diamond layer most closely approximated to the substrate is a nanocrystalline, and the surface of the diamond, which is farthest from the substrate, is microcrystalline. Diamond coating is characterized by roughness R, smaller than 20 nm, grain size on its visible outer surface, less than 100 nm.EFFECT: invention has improved mechanical properties throughout its thickness.20 cl, 5 dwg Изобретение относится к микрокристаллическому алмазному покрытию, предназначенному для трибологических областей применения в сфере микромеханики, а также в оптике. Микромеханическая деталь включает подложку, имеющую поверхность с алмазным покрытием, включающим по меньшей мере одну стопку из первого нанокристаллического алмазного слоя с размером зерен на поверхности, меньшим, чем 50 нм, и второго микрокристаллического слоя с размером зерен на поверхности порядка 100 нм, при этом алмазный слой, наиболее приближенный к подложке, является нанокристаллическим, а поверхность алмазов, наиболее удаленная от подложки, является микрокристаллической. Алмазное покрытие характеризуется шероховатостью R, меньшей, чем 20 нм, размером зерен на своей видимой внешней поверхности, меньшим, чем 100 нм, и обладает улучшенными механическими свойствами по всей его толщине. 2 н. и 18 з.п. ф-лы, 5 ил.