INTEGRATED MICRO-MECHANICAL TUNNEL ACCELEROMETER

FIELD: measuring equipment.SUBSTANCE: invention relates to measuring and microsystem technology, namely to integral measuring elements of acceleration values. Accelerometer contains semi-insulating substrate, fixed electrode base, electrostatic actuator base, anchor region of movable electrode, technological layer in the area of fixed electrode, technological layer in the area of electrostatic actuator, elastic suspension, contact area of stationary electrode, contact area of electrostatic actuator, contact area of movable electrode, inertial mass, stationary electrode, static electrode of electrostatic actuator, contact to movable electrode, movable electrode of electrostatic actuator, movable electrode. Displacement transducer is tunnel contact formed by fixed electrode and movable electrode. Elastic suspension has J-shaped shape consisting of segment of cylindrical shell adjacent at one end to anchor region of movable electrode and rigidly fixed relative to semi-insulating substrate, and second end adjoining inertial mass.EFFECT: increase in measurement sensitivity of acceleration component directed along axis perpendicular to plane of semi-insulating substrate.1 cl, 2 dwg Изобретение относится к области измерительной и микросистемной техники, а именно к интегральным измерительным элементам величин ускорения. Акселерометр содержит полуизолирующую подложку, основание неподвижного электрода, основание электростатического актюатора, якорную область подвижного электрода, технологический слой в области неподвижного электрода, технологический слой в области электростатического актюатора, упругий подвес, контактную область неподвижного электрода, контактную область электростатического актюатора, контактную область подвижного электрода, инерционную массу, неподвижный электрод, неподвижный электрод электростатического актюатора, контакт к подвижному электроду, подвижный электрод электростатического актюатора, подвижный электрод. Преобразователь перемещения представляет собой туннельный контакт, образованный неподвижным электродом и подвижным электродом. Упругий подвес имеет J-образную форму и представляет собой сегмент цилиндрической оболочки, примыкающий одним концом к якорной области подвижного электрода и жестко закрепленный относительно полуизолирующей подложки, а вторым концом примыкающий к инерционной массе. Технический результат - повышение чувствительности измерения составляющей ускорения, направленной вдоль оси, перпендикулярной плоскости полуизолирующе