PLASMA-CHEMICAL METHOD OF PRODUCING BORON CARBIDE

FIELD: chemical industry.SUBSTANCE: invention relates to production of polycrystalline boron carbide. Boron carbide is produced by plasma-chemical synthesis in a high-frequency discharge inside reactor containing electrodes made in the form of substrates for the precipitation of boron carbide. Synthesis is carried out at a discharge power of 500 W in an atmospheric pressure plasma, when hydrogen, boron fluoride and methane are fed to the reactor. Flux ratio H:BFis 2.6, flux ratio BF:CHis 5.5.EFFECT: proposed method makes it possible to produce isotope modifications of polycrystalline boron carbide in a continuous mode.1 cl, 1 tbl Изобретение относится к получению поликристаллического карбида бора. Карбид бора получают плазмохимическим синтезом в высокочастотном разряде в реакторе, содержащем электроды, выполненные в виде подложек для осаждения карбида бора. Синтез проводят при мощности разряда 500 Вт в плазме атмосферного давления при подаче в реактор потоков водорода, фторида бора и метана. Соотношение потоков H:BFсоставляет 2,6, соотношение потоков BF:CHсоставляет 5,5. Предложенный способ позволяет получить в непрерывном режиме изотопные модификации поликристаллического карбида бора. 1 з.п. ф-лы, 1 табл.