LASER INTERFEROMETER

FIELD: measuring equipment.SUBSTANCE: laser interferometer comprises a source of coherent monochromatic radiation, a collimator, a beam splitter separating the beam into the object and reference beams. Acoustic-optical modulators are installed in the reference and object beams. The reference beam an...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Bushuev Semen Viktorovich, Teleshevskij Vladimir Ilich, Grishin Sergej Gennadevich
Format: Patent
Sprache:eng ; rus
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:FIELD: measuring equipment.SUBSTANCE: laser interferometer comprises a source of coherent monochromatic radiation, a collimator, a beam splitter separating the beam into the object and reference beams. Acoustic-optical modulators are installed in the reference and object beams. The reference beam and the beam reflected from the studied object are directed to a common photodetector. The interferometer comprises a line of the generator signal adjustable delay, which is made in the form of a stepped phase shifter.EFFECT: improved measurement accuracy and noise immunity.4 cl, 7 dwg Лазерный интерферометр включает источник когерентного монохроматического излучения, коллиматор, светоделитель, разделяющий луч на объектный и опорный пучки. В опорном и объектном пучках установлены акустооптические модуляторы. Опорный и отраженный от исследуемого объекта пучки направляются на общий фотоприемник. Интерферометр содержит линию регулируемой задержки сигнала генератора, которая выполнена в виде ступенчатого фазосдвигателя. Технический результат заключается в повышении точности измерения и помехоустойчивости. 3 з.п. ф-лы, 7 ил.