METHOD FOR MAKING SPRAY COMPOSITE TARGET FROM HEUSLER ALLOY CoFeSi

FIELD: technological processes.SUBSTANCE: method involves mechanical mixing of Heusler alloy CoFeSi powders to obtain a homogeneous powder mixture and its sintering. Powder mixture is prepared from high-purity powders of cobalt, iron and silicon. Sintering of powder mixtures is led by method electro impulse plasma sintering in graphite mould at a temperature of 600°C, and a minimum pressure of 2.5 kN by passing sequences of pulses of DC 5000 A and duration of pulse 3.3 Ms through the filling of powder mixtures with obtaining composite target from Heusler alloy CoFeSi. The porosity of the target is monitored on the basis of the dilatometric shrinkage curve data.EFFECT: obtaining mechanically strong, non-oxidized composite targets with a porosity in the range of 10-30 percent.2 cl, 3 dwg, 1 ex Изобретение относится к изготовлению распыляемой композитной мишени из сплава Гейслера CoFeSi. Способ включает механическое смешивание порошков компонентов сплава Гейслера CoFeSi с получением однородной порошковой смеси и ее спекание. Порошковую смесь готовят из высокочистых порошков кобальта, железа и кремния. Спекание порошковой смеси ведут методом электроимпульсного плазменного спекания в графитовой пресс-форме при температуре 600°С и минимальном давлении 2,5 кН путем пропускания последовательностей импульсов постоянного тока 5000 А с длительностью импульса 3,3 мс через засыпку порошковой смеси с получением композитной мишени из сплава Гейслера CoFeSi. Осуществляют контроль пористости мишени на основе данных дилатометрической кривой усадки. Обеспечивается получение механически прочных, не окисленных композитных мишеней с пористостью в диапазоне 10-30%. 1 з.п. ф-лы, 3 ил., 1 пр.