METHOD OF MANUFACTURING MICROTECHNICAL DEVICE IN VOLUME OF PHOTOUSTICAL GLASS PLATE

FIELD: physics.SUBSTANCE: invention relates to a method of manufacturing a microtechnical device in the volume of a photosensitive glass plate (PG). The method involves forming prototypes of local regions by moving a focused laser beam in the plane of creating pre-images of local regions, identifying prototypes of local regions with defects, amorphizing all the pre-images of local regions with defects, re-forming pre-images of local regions in each of the amorphized regions, processing until the appearance of local regions of the crystalline phase in the pre-images of local regions and etching the PG plate. Amorphization is carried out by a converging beam of COlaser with an average power density in the neck of the beam of, at least, 7 W/cmand not more than 18 W/cmwith a duration of exposure of 5 to 10 s and a waist size of 25 to 50 mcm. The thermal treatment is carried out by a converging beam ofCOlaser with an average power density in the beam constriction of, at least, 1.5 W/cmand not more than 3.0 W/cmwith a duration of exposure of 15 to 400 s and a waist size of 25 to 500 mcm.EFFECT: shortening the duration of the process and increasing the yield of suitable products.16 dwg Изобретение относится к области микротехники и касается способа изготовления устройства микротехники в объеме пластины фоточувствительного стекла (ФС). Способ включает в себя формирование прообразов локальных областей путем перемещения сфокусированного пучка лазерного излучения в плоскости создания прообразов локальных областей, выявление прообразов локальных областей с дефектами, аморфизацию всех выявленных прообразов локальных областей с дефектами, повторное формирование прообразов локальных областей в каждой из аморфизированных областей, проведение термической обработки до появления локальных областей кристаллической фазы в прообразах локальных областей и травление пластины ФС. Аморфизацию осуществляют сходящимся пучком излучения СОлазера с плотностью средней мощности в перетяжке пучка не менее 7 Вт/сми не более 18 Вт/смс длительностью воздействия от 5 до 10 с и размером перетяжки от 25 до 50 мкм. Термическую обработку осуществляют сходящимся пучком излучения СОлазера с плотностью средней мощности в перетяжке пучка не менее 1.5 Вт/сми не более 3.0 Вт/смс длительностью воздействия от 15 до 400 с и размером перетяжки от 25 до 500 мкм. Технический результат заключается в сокращении длительности процесса и повышении выхода годных изделий. 16 ил.